2月5日讯息开云(中国)Kaiyun官方网站 登录入口，据《日经新闻》报说念，宇宙第三大陶瓷卫浴居品制造商——日本TOTO通过利用其在陶瓷材料领域的专科常识，一经在半导体制造所需的“静电卡盘”（Electrostatic Chucks，或称E-CHUCK、ESC）商场获取了胜仗。

报说念称，TOTO 与半导体干系的业务最早可追想至1980年代，其时TOTO就有为半导体产业开辟高性能精密陶瓷居品，其中最主要的居品便是“静电卡盘”。关联词，该业务多年无利可图，但跟着频年来半导体商场的蕃昌发展，该业务的利润在2022财年头始大幅增长，并无为应用在先进半导体分娩当中。

凭据TOTO公布的2024财年前三季（2024年4月-12月）财报炫耀，前三季TOTO的包括半导体业务在内的“新领域”业务营收达到了344亿日元（约合2.25亿好意思元或16.36亿元东说念主民币），同比增长31.8%，商业利润达142亿日元（约合0.93亿好意思元或6.75亿元东说念主民币），同比暴涨84.4%。

TOTO的“新领域”业务主要包括：陶瓷业务和环境建材业务。陶瓷业务主淌若指以陶瓷组件为基础，如陶瓷半导体、光通信设立等。而环境建材业务主淌若分娩一些陶板、镜片等。其中，以静电卡盘为代表的与半导体干系的陶瓷业务频年来成为了“新领域”业务的主要营收及利润孝顺着手。

TOTO展望，其半导体业务本年的商业利润将卓绝 1 亿好意思元。

什么是静电卡盘？

在许多的半导体制造经过中，频繁需要卡盘来对晶圆进行固定，以便进行加工、测量、安装等操作。卡盘不错凭据其责任旨趣、结构体式、夹紧形式等方面的不同，分为多种类型，常见的卡盘类型包括：机械卡盘、真空卡盘、静电卡盘等。其中静电卡盘由于其对工件毁伤小、精度高级特色，被无为利用于半导体制造工艺等需要精密加工的场景。

具体来说，静电卡盘是利用静电吸附旨趣将待加工晶圆吸附在其名义，况且不错通过背吹气体来放肆晶圆名义温度的部件。静电卡盘可适用于真空及等离子体工况环境的超洁净晶圆承载体，在半导体制造中是薄膜设立、刻蚀机、离子注入机、量测设立等高端装备的中枢部件。

△当原来里面电荷均匀踱步的工件接近通电的静电卡盘后，其里面正负电荷将分手移动至与其极性违反的电极一端。通过电荷异性相吸产生的库仑力，工件将紧紧吸附于静电卡盘的名义。按照吸附旨趣的不同，静电卡盘可分为库仑型（Coulomb type）与 J-R 型（Johnsen-Rahbeck type）。

当代半导体制造经过中包含晶圆的光刻、清洗、氧化、刻蚀、薄膜千里积等繁密的智商，每个智商中又触及到多种工序，这其中离子掺杂、离子注入、物理气相千里积（PVD）、化学气相千里积（CVD）等工序均需要保证晶圆的平踏实定并确保最低进程的附近，因此大齐需要静电卡盘来进行固定。

天然深紫外光（DUV）光刻并未用到静电卡盘，因为DUV光刻是在常压或浸没式液体环境下进行，是以通过晶圆下方的真空系统即可保管晶圆的平整度与固定，然而EUV光刻则有所不同，其接受的是波长极短的13.5nm光源，十分容易被罗致，因此必须在高真空环境下运行，为幸免EUV明后被罗致，芯片制造商也遴荐接受静电卡盘来取代真空吸盘，因为静电卡盘更适用于这种环境。此外，静电卡盘能提供更稳固的吸附力，裁汰变形进程，升迁图层瞄准（Overlay）及临界尺寸（Critical Dimension，CD）放肆的精度。

频繁静电卡盘名义材料分为氧化铝陶瓷与氮化铝陶瓷两种，其中氧化铝陶瓷由于其工艺较为或者，因此在当今的静电卡盘商场中应用最为无为。但跟着半导体工艺对静电卡盘散热性能的条件约束提高，导热性能更好的氮化铝陶瓷上风冉冉露出。相较于主流的氧化铝陶瓷，氮化铝陶瓷领有更好的导热性能、热推广所有、机械性能、绝缘性，因此更适蛊卦为半导体工艺的静电卡盘材料。

由于氮化铝的非凡性（其属于共价化合物，自扩散所有小），皑皑的氮化铝粉末在频繁的烧结温度下很难烧结得到考究的组织，从而会影响静电卡盘的导热性能。当今主要的措置决策是通过在氮化铝粉末烧结时加入某些烧结助剂（如 CaO、Y2O3 等）促进氮化铝的烧结作用，从而提高氮化铝陶瓷的导热性。跟着氮化铝陶瓷烧结工艺的约束逾越，明天氮化铝陶瓷的静电卡盘有望冉冉对氧化铝陶瓷的静电卡盘达成替代。

静电卡盘商场形式：好意思国及日本厂商把持

静电卡盘是半导体制造工艺设立中价值量占比相对较高的中枢零部件。据拓荆科技招股诠释书炫耀，2019 年至 2021Q1-Q3 静电卡盘所属的机械类零部件占拓荆科技中枢原材料采购额比重保管在 25%以上，且一直处于扫数零部件大类采购额比重的第一位。机械类零部件主要包括静电卡盘、加热盘、腔体等，其中静电卡盘的价值量相对较高。据珂玛科技公告，静电卡盘占刻蚀机原材料采购资本的12.7%。

当今，宇宙静电卡盘商场主要被好意思日韩等企业所把持，主要供应商包括好意思国应用材料（AMAT）、泛林集团（Lam Research），日本新光电气（Shinko Electric Industries）、TOTO、日本陶瓷详尽制造商（NTK CERATEC）、京瓷、日本碍子，韩国的MiCo、AEGISCO、KSM、LK ENGINEERING等公司。据 QYResearch 数据，应用材料、泛林集团、Shinko 分手占据了 2021 年宇宙静电卡盘商场销售额前三位，商场份额分手为43.86%、31.42%、10.20%。

不外，需要指出的是，日韩企业静电卡盘基本采用的是单独售卖的销售模式，而好意思国的静电卡盘企业频繁齐是详尽性的半导体设立制造商，他们通过将静电卡盘与所分娩的 PVD、CVD 等半导体设立整机配套售卖的形式将静电卡盘销售至下搭客户。同期由于静电卡盘使用寿命频繁不卓绝两年，属于损失品，因此对静电卡盘的替换也将孝顺可不雅的销售收入。

中邦原土的静电卡盘供应商主要有瑞耘科技广东海拓革命、君原电子、华卓精科、苏州珂玛科技、中瓷电子和中山想考电子，但全体商场份额齐十分小。值得一提的是，2025年1月17日，江丰电子与KSTEINC.签署了《对于静电吸盘技俩之蛊卦框架左券》。江丰电子将从KSTE引进商定范围的静电卡盘居品所需的整个分娩本事并采购干系分娩线，最终达成公司在中国大陆地区独处量产。KSTE矜重向江丰电子提供全经过本事复旧，并矜重相关分娩线的缠绵和录用。

从商场范畴来看，凭据QYResearch的预测数据炫耀，2022-2028 年宇宙静电卡盘商场销售额将由 17.9 亿好意思元增长至 24.1 亿好意思元，年复合增长率为 5.1%。

不外，凭据珂玛科技招股书炫耀，2023年宇宙静电卡盘商场范畴保守推测为36~42亿元，其中中国大陆商场为7~8亿元。

TOTO如何改良静电卡盘本事？

从本事方面来看，静电卡盘所使用的高性能陶瓷天然坚贞，但容易变脆，是以陶瓷材料必须兼具强度与抗裂性，而TOTO利用常年制造马桶及陶瓷卫浴居品所需的陶瓷成型与烧成本事，不错制造出抗裂的均质陶瓷材料。

据了解，TOTO接受了高耐等离子体性 Al2O3 材料达成了静电卡盘居品的高耐用性，并达成了低后面颗粒附近。TOTO 的静电卡盘还不错凭据客户的条件放肆晶圆温度。这些齐归功于TOTO在陶瓷材料领域多年的缠绵和量产制造武艺。

△等离子体照耀检查示例：TOTO 的材料 （AP900R） 比典型的高纯度 Al2O3（纯度 99.9%）具有更高的耐等离子体性

当TOTO领先进入半导体产业时，曾一度靠近要紧挑战。该公司最早供应结构性零部件，但销售进展欠安，自后则在静电卡盘领域获取了一定胜仗，但由于良率过低，导致产能无法称心商场需求。

TOTO曾使用高精密显微镜检查马桶名义，找出并修正轻捷过错，注视污垢附着，以升迁品性。当TOTO的静电卡盘居品出现良率过低时，其将调换本事应用于检测静电卡盘，发现居品上存在有化妆品粉末等异物颗粒影响了良率，由于其时大部分的分娩责任仍依赖于东说念主工，加上无尘室圭臬较低，是以最终影响了居品品性。

最终，TOTO通过其在陶瓷卫浴业务上的本事教授，胜仗找出了问题所在，并改良了这些存在问题的智商，最终达成了良率的大幅升迁。

为了自如本身的市步地位，TOTO在陶瓷材料制造方面参加了精深资金。2020年，TOTO斥资118亿日元在日本大分兴修陶瓷分娩纪律。在2020年4月到2024年4月时间，该公司的陶瓷分娩职工加多了约20%。凭据TOTO总裁Noriaki Kiyota旧年10月电话会议的说法，TOTO还正在推敲建新工场的计较。

当今，TOTO将视力投向切割和封装等卑劣制程，如3D堆叠本事条件基板材料接受新本事。TOTO 陶瓷业务企划部司理Junji Kameshima指出，明天陶瓷将在半导体后段制程设立中被应用到更多地点。

在2024财年，TOTO 展望其与半导体干系的陶瓷部门的商业利润将达到200亿日元（约1.3亿好意思元），商业利润率接近40%，远高于公司全体7%商业利润的预期。TOTO主义是在2026财年该部门的商业利润达到250亿日元，并扩大居品组合以匡助稳固该业务。

当今，TOTO 已将住宅设立业务和中国业务的利润再行投资于陶瓷本事中，跟着日本住房商场萎缩、中国经济放缓之际，AI、数据中心与电子设立需求激增，鼓动TOTO在半导体领域的投资加多。

TOTO总裁Kiyota也强调，即使有起有落，半导体业务毫无疑问会捏续成倍成长。

累赘剪辑：落木

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